Browsing by Subject "sensor gazowy"

Now showing 1 - 1 of 1

Access status: Restricted ,
Zintegrowany sensor gazów wytworzony w technologii mikromechanicznej
(Data obrony: 2006-01-10) Maziarz, Wojciech
Wydział Elektrotechniki, Automatyki, Informatyki i Elektroniki
Celem pracy było opracowanie i wytworzenie zintegrowanego półprzewodnikowego detektora gazu wytworzonego w technologii mikroelektronicznej na membranie krzemowej. Wymaganiem była możliwość wykorzystania sensora w eksperymentach z przestrajaniem temperatury jego pracy w milihercowym zakresie częstotliwości, przy zachowaniu czułości na wybrane gazy. W pracy omówiono proces projektowania i wytwarzania zintegrowanego sensora gazu. Przedstawiono wyniki badań wytworzonych struktur podłożowych (właściwości elektryczne, termiczne). Opisano zautomatyzowane stanowisko pomiarowe oraz metodykę pomiarów wytworzonych sensorów gazów. Opracowano i praktycznie sprawdzono algorytm analizy danych pomiarowych umożliwiających rozdzielenie składników binarnej mieszaniny gazów z użyciem wytworzonych mikrodetektorów pracujących w trybie z modulacją temperatury. Zaprojektowano, wykonanie oraz oprogramowano moduł sensorowy do samodzielnej pracy na stanowisko diagnostycznym, z możliwością komunikacji z komputerem osobistym.