Nanostrukturyzacja

Abstract

Film prezentuje nanostrukturyzację dwuetapową próbki krzemowej, na której napylono za pomocą sputteringu magnetronowego warstwę wolframu i kobaltu. W pierwszym etapie zastosowano technikę litografii elektronowej, w drugim litografię optyczną do otrzymania cienkowarstwowych układów magnetycznych. Omówiono proces nanostrukturyzacji – proces, w którym na przygotowanym podłożu otrzymujemy określony układ elementów w skali nanometrycznej. Układy tego typu znajdują szerokie zastosowanie w elektronice. Strukturyzacja z wykorzystaniem litografii optycznej jest najpopularniejszym procesem otrzymywania układów scalonych. Procesy przeprowadzane są w pomieszczeniach zwanych clean roomami. Zarezentowaną strukturyzację próbki wykonano w Laboratorium Ablacji Laserowej i Nanolitografii Akademickiego Centrum Materiałów i Nanotechnologii AGH. W procesie uzyskano układy do pomiaru właściwości magnetycznych. <br>Film w 2019 r. brał udział w konkursie <a href="https://notatki.cel.agh.edu.pl/">„Notatki w Internecie”.</a>