Mechanisms for micro- and nano-systems

Abstract

In the paper designing, structures and applications of micro- and nano- systems are presented. After short introduction in fields of applications where presented systems are used authors discusses problems concerning motors and joints in MEMS. The most popular joint used in micro-system are based on flexures joints, which structure and examples are presented. Next two examples of micro-systems designed and built in Department of Robotics and Mechatronics, AGH University of Science and Technology, Kraków are presented. W artykule zostały przedstawione zagadnienia związane z projektowaniem, budową oraz zastosowaniem mikro- i nanomechanizmów. Po krótkim przedstawieniu dziedzin, w których układy tego typu znajdują zastosowanie, oraz omówieniu zagadnień związanych ze stosowanymi napędami przedstawione zostały złącza stosowane w mikroukładach. Najpowszechniej stosowanym typem złącz w mikroukładach są elastyczne przeguby złączowe (tzw: flexures), których budowa oraz przykłady zostały dokładnie omówione w artykule. Przedstawiono również przykłady mikromechanizmów opracowanych w Katedrze Robotyki i Mechatroniki, AGH w Krakowie. Działanie opracowanych mechanizmów zostało najpierw sprawdzone z użyciem metod symulacyjnych a następnie badań doświadczalnych, do których wykorzystano bezstykowe metody pomiarowe. Wyniki badań przedstawiono i skomentowano w artykule.