Atomic Layer Deposition on ultrahigh aspect-ratio nanostructures – modelling and experiment
Loading...
Defence Date
2015-09-22
Authors
Supervisors:
Reviewers:
Access rights
Access: zastrzeżony dostęp
Access details: Zarządzenie Rektora AGH
Other title
Osadzanie warstw atomowych na nanostrukturach o ultrawysokim współczynniku wydłużenia - modelowanie i eksperyment
Resource type
Defence details
Degree Grantor: Akademia Górniczo-Hutnicza im. Stanisława Staszica w Krakowie
AGH Unit: Wydział Fizyki i Informatyki Stosowanej
Course: Fizyka Techniczna (WFiIS)
Form of study: stacjonarne
Degree level: studia drugiego stopnia
Degree name: magister inżynier
Description
Keywords
Abstract
Access rights
Access: zastrzeżony dostęp
Access details: Zarządzenie Rektora AGH